電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀用于測定各種物質(zhì)中的微量、痕量金屬元素或非金屬元素的含量，自動化程度高、操作簡便、穩(wěn)定可靠。
目前儀器廣泛應用于稀土、地質(zhì)、冶金、化工、環(huán)保、臨床醫(yī)藥、石油制品、半導體、食品、生物樣品、刑事科學、農(nóng)業(yè)研究等各個領域。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀又稱為ICP光譜儀即以電感耦合高頻等離子體為激發(fā)光源，利用每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來判斷物質(zhì)的組成，而進行元素的定性與定量分析儀器。也被稱為ICP原子發(fā)射光譜儀。
它是將成分復雜的光分解為光譜線的科學儀器。它密封在一個溫度穩(wěn)定的恒溫機箱里，設計小巧，操作簡易，設備的搬運和操作只要一個人就能完成。它具有樣品用量少，應用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀包括以下幾個主要部分：
1、入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點。
2、準直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻Ｔ摐手痹梢允且华毩⒌耐哥R、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3、色散元件: 通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應于一特定波長。
5、探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是ccd陣列或其它種類的光探測器陣列。
該設備的分析過程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測。
第一步：激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光;
第二步：利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長排列的光譜;
第三步：利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發(fā)射光強度進行定量分析。
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